国家/地区 日本(2) 美国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L021/3205(2) H01L021/768(2) H01L023/52(2)
H01L023/532(2)
发明人 WADA M(2)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 TOSHIBA KK(2)