| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 | H(2) |
| IPC大类 | H01(2) |
| IPC小类 | H01L(2) |
| IPC |
H01L021/3205(2)
H01L021/768(2)
H01L023/52(2)
H01L023/532(2) |
| 发明人 |
WADA M(2)
|
| 公开年 |
2011(2)
|
| 申请年 | 2010(2) |
| 专利权人 | TOSHIBA KK(2) |
AKIMOTO Y, WADA M
