国家/地区 中国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/78(2)
发明人 WANG W(2)
公开年
申请年
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(2)