| 国家/地区 |
中国(2)
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| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 |
C23(2)
C30(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C23C(2)
C30B(2)
H01L(2)
|
| IPC |
H01L021/20(2)
H01L021/205(2)
H01L033/00(2)
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| 发明人 |
WEI Y(2)
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| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 | HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2) |
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
