国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L031/18(2)
发明人 XIE F(3)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人 UNIV XIAN TE.(2)