国家/地区 中国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L021/335(2) H01L029/20(2)
发明人 XING W(2)
公开年
申请年 2022(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(2)