国家/地区 中国(7)
IPC部 B(3) H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) H01L029/16(2)
发明人 YANG L(7)
公开年 2015(3) 2017(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 NAT CENT NANOSCIENCE TECHNOLOGY CHINA(7)