| 国家/地区 |
美国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C23(3)
C25(3)
B82(2)
C22(2) F28(2) |
| IPC小类 |
C23C(3)
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| IPC |
C23C018/16(3)
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| 发明人 |
ZHAMU A(3)
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| 公开年 | 2019(2) |
| 申请年 | 2018(2) |
| 专利权人 | NANOTEK INST.(3) |
