国家/地区 中国(2)
IPC部 B(2) H(2)
IPC大类 B82(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) H01L(2)
IPC B82Y010/00(2) B82Y030/00(2) H01L051/05(2)
H01L051/40(2)
发明人 ZHOU H(2)
公开年 2019(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 WUHAN INST TECHNOLOGY(2)