国家/地区 韩国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B01(3) C01(3) H05(3)
IPC小类 B01J(3) C01B(3) H05K(2)
IPC B01J019/08(3)
发明人 CHOI S Y(3) KIM S I(3) LEE K H(2)
LEE S J(2) SHIN M S(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(3)
专利权人 CHEORWON PLASMA RES INST(3)