国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B01(3)
IPC小类 B01J(3) B82Y(3) C01B(3)
H01L(3) C23C(2)
IPC B01J019/08(3)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2011(3)
专利权人