国家/地区 中国(3) 日本(2) 美国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3) C23C(3) C01B(2)
H01L(2)
IPC B82Y010/00(3)
发明人
公开年 2012(3)
申请年 2012(2) 
专利权人