国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3) C01B(2) C23C(2)
C23F(2) H01L(2)
IPC B82Y010/00(3)
发明人
公开年 2012(2)
申请年
专利权人