国家/地区 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(3)
发明人 SATO S(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2015(2)
申请年 2014(3)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)