| 国家/地区 | 日本(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(2)
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| 发明人 | SATO S(2) |
| 公开年 |
2014(2)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)
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YAMAGUCHI J, SATO S, YAMADA H, TANAKA K, YAMADA Y
