| 国家/地区 |
德国(2)
|
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2)
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| IPC |
C01B032/182(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
MENTOVICH E, ATIAS B, NAVEH D, LEVI A, SMOLINSKY E Z B
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
