国家/地区 韩国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) B32B(2)
H01L(2)
IPC C01B032/184(3)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2021(2) 
专利权人