国家/地区 |
韩国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
B32B(2)
H01L(2) |
IPC |
C01B032/184(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(3)![]() |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
GU T J, JANG W, SEO Y, WHANG D, WHANG D M, SEO Y M, JANG W S