国家/地区 美国（2）
IPC部 B（2）
IPC大类 B32（2）
IPC小类 B32B（2） B82Y（2） C01B（2）
C23C（2） C30B（2） H01L（2）
IPC B32B009/00（2）
发明人
公开年 2013（2）
申请年
专利权人

Preparing multilayer article from semiconductor substrate involves forming metal film on front of substrate; forming layer of boron nitride; and forming layer of graphene between substrate and the back metal film surface.

SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T

Forming cleaned nanotube-graphene hybrid thin film on a substrate, comprises depositing the nanotube thin-film over a substrate to produce a layer of nanotube thin-film, and removing impurities from surface of layer of nanotube thin-film.

BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S