国家/地区 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 美国(5) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 印度(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 C(7) B(6) H(2)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7) C04B(7) B01J(3)
B82Y(3) C23C(3) B82B(2)
C03C(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C04B041/00(7)
发明人 LEE J O(2)
公开年 2015(2) 2018(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA RES IN.(2)