国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C04B(5) B82Y(3)
C23C(3) B82B(2) C03C(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C04B041/00(5)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2013(2) 
专利权人