| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 | C01(3) C23(3) |
| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C014/06(3)
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| 发明人 | XU S(2) |
| 公开年 |
2021(3)
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| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
