国家/地区 中国(3)
IPC部 C(4)
IPC大类 C09(4)
IPC小类 C23C(4) C09K(3) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C014/28(4)
发明人 CHEN D(2)
公开年 2022(3)
申请年 2022(3) 
专利权人 NEW MORE GRA.(2)