国家/地区 | 中国(3) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C09(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
C09K(3)
C01B(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C014/28(4)![]() |
发明人 | CHEN D(2) |
公开年 | 2022(3) |
申请年 | 2022(3) |
专利权人 | NEW MORE GRA.(2) |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D