国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4) C01(3) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) H01L(3)
B82Y(2)
IPC C23C016/01(4)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2014(2) 
专利权人