国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
C01B(2)
H01L(2)
|
IPC |
C23C016/01(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(3) |
申请年 |
2015(4)![]() |
专利权人 |
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K
FEI G, GAO X, OUYANG H, LI E, YI H
HAN Z, LI S, LIU Y, REN L, BAI Y, ZHENG Z
JOHNSON A T, GUDIBANDE R R, QI Z J, JOHNSON A, GUDIBANDE R, QI Z