国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
B82Y(2)
C01B(2)
G01N(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/01(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S