国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) B82Y(2) C01B(2)
G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/01(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人