国家/地区 中国(3) 美国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) B82Y(2) C01B(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(4)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2014(2) 2015(2)
申请年 2014(4)
专利权人