国家/地区 | 美国(6) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 日本(3) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C23(6)![]() |
IPC小类 |
C23C(6)
H01L(5)
B82Y(4)
C01B(3) |
IPC |
C23C016/02(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
GARCES N, WHEELER V D, GASKILL D K, EDDY C R, JERNIGAN G G
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G