国家/地区 美国(6) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 日本(3)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) H01L(5) B82Y(4)
C01B(3)
IPC C23C016/02(6)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2013(6)
专利权人