国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) B(3) H(3)
IPC大类 C23(4) H01(3) C01(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(4)
发明人
公开年 2023(4)
申请年 2022(4)
专利权人