国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 巴西(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
H01(3)
B82(2) |
IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
B82Y(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/04(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(4)![]() |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J