国家/地区 美国(18) 中国(17) 世界知识产权组织(8) 韩国(7) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(3) 英国(2) 日本(2)
IPC部 C(32)
IPC大类 C09(32)
IPC小类 C23C(32)
IPC C23C016/26(32)
发明人 HWANG J H(3) JEON M H(3) CHEN Y(2)
HO C H(2) LEE Y(2) YOO Y Z(2)
ZHANG L(2)
公开年 2016(5) 2023(5) 2017(4) 2021(4) 2015(3) 2022(3) 2014(2) 2018(2) 2020(2)
申请年 2020(6)  2016(5)  2022(5)  2015(4)  2017(4)  2014(3)  2013(2)  2021(2) 
专利权人 UNIV INJE IN.(3) INT BUSINESS.(2) KOREA INST S.(2)