| 国家/地区 | 日本(3) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
C01(3)
C07(3)
C23(3)
H01(3) B82(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
|
| IPC |
C23C016/26(3)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
