国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2017(2)
申请年 2017(3)
专利权人