| 国家/地区 | 中国(2) 日本(2) 韩国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(2)
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| IPC大类 |
B32(4)
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| IPC小类 |
B32B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(2) |
| 申请年 | 2022(2) |
| 专利权人 |
KIM D J, HONG B H, WOO Y S, KIM D, YU Y S
GONG M, ZHAO M, LI M, CHEN C, CHEN Q, YANG W, LI Y, WANG Y, LIU B, PEI Z, ZHANG X, LIANG J
PRAMANIK C, CHOUDHARY S K, SINGH R S
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, CHIBA G, YOSHIHIRO C
