国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C09(5)![]() |
IPC小类 |
C09K(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(2) |
申请年 | |
专利权人 |
CHEN L, CHEN S, YIN Y, ZHOU J, ZHOU Q, QI X
FANG X, HE X, ZHOU X, DOU L, YANG S, SUN A, CAO Y
YU Q, LUO H, SUN G, LI Z, YANG G