| 国家/地区 |
德国(5)
|
| IPC部 |
B(5)
C(5)
H(5)
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| IPC大类 |
B32(5)
C23(5)
C01(4)
H01(4) B82(3) H05(2) |
| IPC小类 |
B32B(5)
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| IPC |
C23C016/26(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(4) |
| 申请年 | 2013(3) |
| 专利权人 | INT BUSINESS.(3) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B
