国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(3)![]() |
专利权人 |
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H