国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S