| 国家/地区 | 中国(3) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 |
C03(4)
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| IPC小类 |
C03B(4)
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| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
ZHANG J, YUAN G, LI Z, WANG J, ZHOU Y
BABUL T, OBUCHOWICZ Z, JONCZYK S, BARANOWSKI M, KONDEJ A
