国家/地区 韩国（2）
IPC部 C（2） G（2）
IPC大类 C23（2） G02（2）
IPC小类 C23C（2）
IPC C23C016/26（2）
发明人 JAI L H（2） SHIM W P（2） YOOK J（2）
YOON S Y（2）
公开年 2022（2）
申请年 2020（2）
专利权人 TES CO LTD（2）

Depositing thin film, comprises depositing graphene oxide film on first surface of substrate, and depositing first haze film on graphene oxide layer.

YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P

Depositing thin film, comprises preparing mixture of cyclohexanone and graphene oxide, supplying the mixture into chamber, and depositing thin film using plasma enhanced chemical vapor deposition by providing radio frequency power.

YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P