国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(4)
IPC大类 C09(4)
IPC小类 C23C(4) C09D(3) H01L(3)
IPC C23C016/26(4)
发明人 HWANG J H(3) JEON M H(3) HO C H(2)
YOO Y Z(2)
公开年 2017(4)
申请年 2016(3) 
专利权人 UNIV INJE IN.(3)