国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)
C01(3)
C23(3)
G02(3) B82(2) H05(2) |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(3)![]() |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S