国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4) H01(4) C01(3)
G01(2) H05(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) H01L(3)
H01J(2)
IPC C23C016/27(4)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人