| 国家/地区 |
美国(2)
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| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C016/32(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W
