国家/地区 中国(5) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(5) B82Y(3)
B32B(2) H01L(2)
IPC C23C016/448(6)
发明人 LI X(3) DUAN Y(2) HUANG D(2)
LI Z(2) SHAO L(2) SHI H(2)
ZHANG Y(2)
公开年 2021(2) 2022(2)
申请年 2022(2) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) CHONGQING GR.(2)