国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B82Y(3)
H01L(3) |
IPC |
C23C016/448(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | |
专利权人 |
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
SEO D H, PINEDA S, HAN Z J, OSTRIKOV K
LEE L J, HUANG W, YU J, LEE L