| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 | C01(4) C23(4) |
| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C016/52(4)
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| 发明人 | BRODEUR C L(2) NAGEL C J(2) |
| 公开年 | 2022(2) 2023(2) |
| 申请年 |
2022(4)
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| 专利权人 | QUANTUM ELEM.(2) |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S
