国家/地区 | 美国(4) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
C01(4)
B82(3)
|
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B82Y(3)
|
IPC |
C23C016/52(5)![]() |
发明人 | NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2) |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(2) 2021(2) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(3) |
KOEHNE J E, MEYYAPPAN M, GANDHIRAMAN R