国家/地区 美国(4)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5) C01(4) B82(3)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B82Y(3)
IPC C23C016/52(5)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(5)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(3)