国家/地区 美国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3) C23(3) H01(3)
C01(2)
IPC小类 B82Y(3) C23C(3) H01L(3)
C01B(2)
IPC B82Y030/00(3)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人