| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
B(3)
|
| IPC大类 |
B82(3)
C23(3)
H01(3)
C01(2) |
| IPC小类 |
B82Y(3)
C23C(3)
H01L(3)
C01B(2) |
| IPC |
B82Y030/00(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(3)
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| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E
