国家/地区 | 中国(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C024/08(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
CAO J, MENG X, HUANG M, SUN L, FUGETSU B
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y