| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C23C028/00(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 |
2020(2)
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| 专利权人 |
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
