| 国家/地区 | 中国(5) 美国(5) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(6)
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| IPC大类 |
C01(6)
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| IPC小类 |
C01B(6)
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| IPC |
C23C028/00(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2011(2) 2022(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
WANG M, LI J, LI K, BIAN M, ZHANG C, LIN Q, FU H, LIU Z
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J
